PI (Physik Instrumente)NEXLINE線(xiàn)性促動(dòng)器N-216.101長(cháng)行程納米定位
NEXLINE線(xiàn)性促動(dòng)器
長(cháng)行程納米定位,具有高力,PiezoWalk原理
系列特點(diǎn):
N-216
§ 力量生成達600牛
§ 保持力達800牛
§ 行程20毫米
§ 帶分辨率的集成式直接測量線(xiàn)性編碼器 5納米
應用領(lǐng)域
§ 工業(yè)級精度定位
§ 半導體技術(shù)
§ 半導體測試
§ 晶圓檢測
§ 平版印刷術(shù)
§ 納米壓印
§ 納米測量
§ 強磁場(chǎng)和真空中運動(dòng)
采用PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)實(shí)現納米精度和大進(jìn)給力 、數個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)中執行步進(jìn)運動(dòng),將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進(jìn)行小步進(jìn)和推進(jìn)運動(dòng)。
型號示例:
N-216.101
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ,20毫米,300牛,開(kāi)環(huán)
N-216.1A1
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ,20毫米,300牛,線(xiàn)性編碼器,5納米分辨率
N-216.201
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ,20毫米,600牛,開(kāi)環(huán)
N-216.2A1
NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負載促動(dòng)器 ,20毫米,600牛,線(xiàn)性編碼器,5納米分辨率
詢(xún)價(jià)采購須知:
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漢達森市場(chǎng)部 李銀
PI (Physik Instrumente)NEXLINE線(xiàn)性促動(dòng)器N-216.101長(cháng)行程納米定位